高溫真空氣氛爐是在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。高溫真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。

　　高溫真空氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時間就必須進(jìn)行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，10min后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢，如真空設(shè)備連續(xù)停機一個禮拜，要空運轉(zhuǎn)一次（進(jìn)行烘爐）。